首先正确选择其电压和测量范围，然后兆欧表自检测，接着检查前电动机准备工作，然后电动机相间绕组绝缘检查，最后分别检查相绕组U、V、W。
正确选择其电压和测量范围
兆欧表不能乱用，要根据其测量设备电压进行选择。通常500V以下至100V电气设备或回路，采用500V 100MΩ及以上兆欧表，那测量电机绝缘电阻，选用500V 100MΩ的兆欧表。
兆欧表自检测
在测量前，兆欧表先做一次开路实验，然后再做一次两表线（L和E）接通实验。指针在开路实验中应指到“∞”（无穷大）处
而在两表线直接接通实验时，指针能摆到“0”处，就表明兆欧表工作状态正常。
检查前电动机准备工作
测量电机绕组绝缘前，切断总电源挂检修排，防止触电隐患。拆掉电机三相电源线做好标记以备恢复，拆掉电机接线柱中连接片（连接片必须要拆除，否则测量相间绕组无法测量）。
电动机相间绕组绝缘检查
检查电机相间绕组绝缘，即检查相与相之间绝缘，兆欧表的”L”端接电动机绕组引出接线柱，E端接电动机绕组引出接线柱，在正常工作状态下，两相绕组间的绝缘电阻阻值应为“∞”（无穷大），在0.5MΩ以下，说明电机绕组以受潮或者绝缘电阻很差，阻值应为“0”时说明相间绕组短路。
在正常工作状态下，同一相的阻值应为“0”。
按照步骤4分表检查U1-W2、V1-U2、W1-V2、U1-U2、V1-V2、W1-W2。
分别检查
如果三相绕组之间绝缘良好，再进行对地检测。检查方法是：兆欧表一端（L）接通三相绕组的出线一端，另一端（E）触及电动机金属壳的铭牌或电动机不生锈的金属外壳。如果在0.5MΩ以下，说明电机绕组以受潮或者绝缘电阻很差；如果兆欧表的指针为零位，说明该相绕组有接地短路点。按照第五步分别检查三相绕组U、V、W。
